Установки для нанесения функциональных покрытий
Мы разработали несколько семейств вакуумных установок для нанесения различных функциональных покрытий (медь, нержавеющая сталь, титан и т.д.) магнетронным методом.
Например cемейство установок BRV2/300М4 - установки для напыления слоев металлов меди, золота или серебра толщиной до 100 микрон на восковые подложки с помощью системы подвижных магнетронов.
Чтобы компенсировать нагрев от высокой мощности магнетронов в установках подобного типа мы применили систему Polycold охлаждающую пространство внутри камеры до заданных техпроцессом температур.
Нанесение меди на восковые детали:
За время испытаний и работы система показала хорошие показатели равномерности покрытия и скорости нанесения толщины в 100 микрон.
Семейство установок BRV700M
Нанесение многослойных функциональных (упрочняющих, антифрикционных, токопроводящих, оптических, декоративных и др.) покрытий на различные элементы магнетронным методом нами были разработаны установки семейства BRV700M
Арматура установки позволяет закрепить большое количество деталей на крепления, и напылять любой материал в зависимости от материала мишени магнеронов.
