Семейство вакуумных установок BRV750M

Скачать описание

На основе BRV 750-M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
• двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
• кварцевого иллюминатора;
• каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
• защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
• технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
• системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
• системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
• системы управления;
• гидро-пневмосистемы;
• двух пар дуальных магнетронов;
• трех датчиков низковакуумных;
• клапана напуска воздуха в камеру;
• датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;
• затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
• источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;
• 17-дюймового панельного компьютера;
• агрегата форвакуумного «сухого»;
• высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
• блока питания ионного источника;
• блоков питания магнетронов;
• трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;
• изолированного привода вращения;
• комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
• комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
• встроенного компрессора.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV750M вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более	5%.
Скорость нанесения, не менее	4 мкм/час.
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:	200.
Средний уровень шума, дБа, не более:	75.
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:	8.
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более	30.
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:	5.
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:	2150×1760×2000.
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:	1320.