Семейство вакуумных установок BRV2/300M4

Скачать описание

Семейство вакуумных установок BRV300/2M4 предназначено для нанесения толстых (до 100 мкм) металлических многослойных покрытий на различные легкоплавкие элементы магнетронным методом.

Вакуумная установка состоит из:

• двух вакуумных камер из нержавеющей стали размером 520 х 420 мм;
• двух дверей вакуумных камер из нержавеющей стали с иллюминаторами из кварцевого стекла с заслонками ;
• двух пирометров;
• каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
• защитно-декоративных панелей с блокирующими замками (условно не показаны);
• системы технологической оснастки (условно не показана)
• системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапана;
• системы управления;
• поддона с выдвижной клавиатурой;
• гидро- пневмосистемы;
• магнетронов и водоохлаждаемого анода;
• низковакуумных датчиков;
• высоковакуумных датчиков;
• клапана напуска воздуха в камеру;
• двух затворов высоковакуумных с пневмоприводом;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе с интегрированным контроллером;
• 15-дюймового тактильно-чувствительного монитора;
• агрегата форвакуумного «сухого»;
• блоков питания магнетронов;
• расходомеров;
• возвратно-поступательного механизма перемещения магнетронов относительно подложе;
• комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали (условно не показаны);
• встроенного компрессора;
• системы охлаждения подложек для каждой камеры.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV2/300M4 вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более	5%.
скорость нанесения меди не менее	0,33 мкм/мин.;
скорость нанесения никеля не менее	0,15 мкм/мин.;
количество подложек размером Ø2х90 мм	не менее 2 шт.
количество подложек размером Ø25х90 мм	не менее 2 шт.
Средний уровень шума, дБа, не более:	75.
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:	8.
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт,	не более 10.
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2 не более:	10.
Габариты вакуумной установки, мм, ДхШхВ, не более:	2200х1622х1780
Масса вакуумной установки, кг, не более:	1000.