Семейство вакуумных установок BR700D

Скачать описание

На основе BRV 700-D реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
• двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленным пирометром и кварцевым иллюминатором с заслонокой;
• каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
• технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
• шести нагревателей;
• системы откачки, включающей в себя форвакуумный и байпасный клапаны;
• системы управления;
• гидро-пневмосистемы;
• четырех дуговых испарителей;
• трех датчиков низковакуумных;
• клапана напуска воздуха в камеру;
• датчика высоковакуумного;
• затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
• 17-дюймового панельного компьютера;
• насоса Рутса;
• насоса пластинчато-роторного;
• двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки и ассистирования с блоками питания;
• четырех блоков питания дуговых испарителей;
• трех расходомеров;
• изолированного, водоохлаждаемого ввода вращения;
• четырех блоков поджига дуговых испарителей;
• одного колена 90°;
• контроллера турбомолекулярного насоса;
• блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BR700D вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более	5%.
Скорость нанесения TiN, не менее	4 мкм/час.
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:	500.
Средний уровень шума, дБа, не более:	75.
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:	8.
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более:	30.
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:	5.
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:	2145×2160×2000.
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:	1320.