Семейство вакуумных установок BRV700M3

Скачать описание

Семейство вакуумных установок BRV700М3 для нанесения многослойных функциональных (упрочняющих, антифрикционных, токопроводящих и др.) покрытий на различные элементы (базовая модель, максимальная комплектация).

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 760×775 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
• двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
• кварцевого иллюминатора;
• каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
• защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
• технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
• системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
• системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
• системы управления;
• гидро-пневмосистемы;
• одной пары дуальных магнетронов;
• одного несбалансированного магнетрон;
• одного внутрикамерного цилиндрического магнетрона;
• трех датчиков низковакуумных;
• клапана напуска воздуха в камеру;
• датчика высоковакуумного;
• датчика средневакуумного;
• затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
• 15-дюймового сенсорного монитора;
• Выдвижного поддона с беспроводными клавиатурой и мышью;
• агрегата форвакуумного;
• двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки, ассистирования;
• блоков питания ионных источников;
• блоков питания дуальных магнетронов;
• блок питания несбалансированного магнетрона;
• блок питания внешнего соленоида для несбалансированного магнетрона;
• трех расходомеров;
• изолированного, водоохлаждаемого привода вращения;
• блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку;
• комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
• комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
• рым-гаек;

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV700M3 вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали:	не более 5%.
Скорость нанесения TiN:	не менее 2 мкм/час (дуальные магнетроны)
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг:	не более: 200.
Средний уровень шума, дБа:	не более: 75.
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет:	не менее: 8.
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт:	не более 50.
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2:	не более: 3,3.
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В:	не более: 2150х1550х2200.
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг,	не более: 1500.